純化水標準

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純化水標準

電子級水標準

Electronic grade water

表2.1、電子級水的技術指標

級別指標	中華人民共和國電子級水國家標準（GB/T11446.1997）					ASTM電子級水 (E-I)標準 (1993年)
級別指標	EW-I	EW-II	EW-III	EW-IV	設計參考值
電阻率 MΩ.cm(25℃)	18以上 (95%時間) 不低于17	15 (95%時間)不低于13	12.0	0.5	10以上 (95%時間) 不低于5	18以上(90%時間)不低于 17
全硅,μg/L	2	10	50	1000	≤20.0	5(SIO₂₎
>1μm微粒數, 值,個/mL	0.1	5	10	500	10	0.1
細菌個數, 值個/ mL	0.01	0.1	10	100	≤<10	1/1000
銅值, μg/L	0.2	1	2	500	≤2	1
鋅值, μg/L	0.2	1	5	500	≤5	0.5
鎳值, μg/L	0.1	1	2	500	≤2	0.1
鈉值, μg/L	0.5	2	5	1000	≤5	0.5
鉀值, μg/L	0.5	2	5	500	≤5	2
氯值, μg/L	1	1	10	1000	≤10	1
硝酸根, 值, μg/L	1	1	5	500	≤5	1
磷酸根, 值, μg/L	1	1	5	500	≤5	1
硫酸根, 值, μg/L	1	1	5	500	≤5	1
總有機碳, 值, μg/L	20	100	200	1000	≤200	1
細菌內毒素 (E.U.)						0.03

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